<table id="ycrct"><menuitem id="ycrct"><input id="ycrct"></input></menuitem></table>
  • <thead id="ycrct"><del id="ycrct"></del></thead>
  • <blockquote id="ycrct"><del id="ycrct"></del></blockquote>
  • 欢迎访问上海辛茨精密仪器有限公司网站!
    客户服务热线: 13952575427
    产品目录
    联系我们
    上海辛茨精密仪器有限公司
    地址:上海市闵行区剑川路953弄322号
    您的位置: 网站首页 >> 技术文章 >> 你知道清洁度无尘室的分类方式有哪些么

    你知道清洁度无尘室的分类方式有哪些么

    发布日期: 2019-12-25
    浏览人气: 1016
       今天跟大家分享一下清洁度无尘室的分类方式,下面让我们一起来看看吧。

      1.乱流式(Turbulent Flow)

      空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。

      优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。

      缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。

      2.层流式(Laminar)

      层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:

     ?、潘讲懔魇?水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。

      优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。

     ?、拼怪辈懔魇?房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘??煽焖倥懦鍪彝舛换嵊跋炱渌ぷ髑?。

      优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。

      缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。

      3.复合式(Mixed Type)

      复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。

     ?、沤嗑凰淼?Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。

      此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。

      洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

     ?、平嗑还艿?Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

     ?、遣⒆熬植课蕹臼?Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

      洁净工作台:等级Class 1~100级。

      洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

    分享到:
    Copyright ?2017 - 2018 上海辛茨精密仪器有限公司 备案号:沪ICP备18016531号-1
    扫一扫访问手机站扫一扫访问手机站
    访问手机站